主要产品：为集成电路和泛半导体行业提供高端设备，包括等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备等

主要产品：主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域

主要产品：主营产业是功率半导体分立器件、电力电子变流装置以及功率半导体器件测试试验设备的设计、开发

主要产品：集成电路制造装备（全自动匀胶显影机、高能离子注入机等）、新型平板显示装备、光伏新能源装备

主要产品：专注于对先进集成电路制造、先进晶圆级封装制造及大硅片制造领域半导体设备研发、生产，包括SAPS兆声波清洗设备、边缘湿法刻蚀设备、电镀设备、前道涂胶显影设备等

主要产品：专业从事半导体生产设备的研发、生产，包括涂胶设备、显影设备、清洗设备、去胶设备、刻蚀设备等备

主要产品：主要研制、生产、再制造高端离子注入机，重点应用于光伏太阳能电池，新型平板显示和半导体集成电路领域

主要产品：为集成电路及泛半导体产业客户提供制程设备、高纯工艺系统和相关电子材料

主要产品：主要从事半导体专用设备的研发、生产，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列